Seminar PVD-/CVD-Verfahren

Grundsätzliches Verständnis von PVD-/CVD-­Verfahren und der ablaufenden Reaktionen während des Prozesses.

INHALTE

• Grundlagen, grundsätzliche Funktionsweise von PVD-/CVD-Verfahren
• Physikalische Voraussetzungen
• PVD­-Verfahren: thermisches Verdampfen, Sputtern, reaktives Sputtern, Elektronenstrahlverdampfen, …
• CVD­-Verfahren: Metall-­CVD, Nicht-­Metall­-CVD, plasmaunterstützte CVD, ...
• Diskussion spezifischer Prozessprobleme

ZIEL

• Grundsätzliches Verständnis von PVD-/CVD-­Verfahren und der ablaufenden Reaktionen während des Prozesses. Besseres Verständnis der eigenen Applikation.

EMPFOHLENE DAUER

• Pro Verfahren (PVD/CVD) jeweils 1 Tag

Zielgruppe des Seminars

Teilnehmer mit Grundkenntnissen der Vakuumtechnik. Monteure, Inbetriebnehmer, Servicemitarbeiter, Schichtführer, Vorarbeiter, Wartungspersonal, ...